一、產(chǎn)品介紹:
本系列化學(xué)氣相沉積爐分為四個(gè)系統(tǒng),爐體系統(tǒng),真空系統(tǒng),氣路系統(tǒng),控制系統(tǒng)
爐體系統(tǒng):爐體外殼采用冷板卷焊接成圓形,爐殼上下加裝爐端蓋。爐殼內(nèi)部為圓形加熱爐膛,分為兩層,耐火層和保溫層。耐火層由1800度含鋯纖維真空澆注而成,在高溫下具有熱收縮小,耐火溫度高的特點(diǎn);保溫層選用氧化鋁纖維材料,保溫好,熱損失小。直徑90mm的氧化鋁剛玉管從爐膛中部穿過(guò),兩端采用法蘭水套和氟橡膠圈進(jìn)行固定和密封,為了減緩在高溫下氟橡膠密封圈的老化,水套通循環(huán)水進(jìn)行降溫。剛玉管下法蘭上留有進(jìn)氣口和放氣口;上法蘭上留有真空泵連接口,電阻真空計(jì)連接口,指針式壓力表連接口。硅鉬棒加熱體分布在剛玉管四周對(duì)剛玉管內(nèi)部的材料進(jìn)行加熱。
爐體下部為機(jī)械運(yùn)行機(jī)構(gòu),絲杠拖座固定在絲杠滑塊上通過(guò)電機(jī)、減速機(jī)、渦輪帶動(dòng)滾軸絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)絲杠滑塊上下運(yùn)行可將所要加熱的物料以及模具送入爐膛內(nèi)部進(jìn)行加熱,絲杠運(yùn)行通過(guò)限位開(kāi)關(guān)進(jìn)行限位。
真空系統(tǒng):由指針式壓力表,電阻真空規(guī)管,真空計(jì),真空泵,尾氣吸收瓶,尾氣過(guò)濾瓶等組成。指針式壓力表和真空計(jì)用于顯示爐管內(nèi)部的壓力。在高溫沉積過(guò)程中爐管內(nèi)部產(chǎn)生的酸性廢氣經(jīng)尾氣吸收瓶中的氫氧化鈉水溶液吸收酸性,再經(jīng)尾氣過(guò)濾瓶中的真空泵油過(guò)濾水分后從連續(xù)工作的真空泵排出。尾氣吸收瓶和尾氣過(guò)濾瓶主要是過(guò)濾酸性氣體和水提高真空泵的使用壽命。
氣路系統(tǒng):由閥門,過(guò)濾器,轉(zhuǎn)子流量計(jì),混氣罐等組成。在高溫沉積過(guò)程中需要參與反應(yīng)的氣體經(jīng)閥門、過(guò)濾器、玻璃轉(zhuǎn)子流量計(jì)進(jìn)入混氣罐,幾種氣體混合后通過(guò)下法蘭上的進(jìn)氣口進(jìn)入爐管內(nèi)與物料進(jìn)行反應(yīng)沉積。
本系列化學(xué)氣相沉積爐的控制系統(tǒng)為獨(dú)立的控制柜,控溫儀表采用日本島電公司生產(chǎn)的FP93溫控儀表,控溫精度高,控溫效果好,讀數(shù)直觀、操作方便。
為了降低事故的發(fā)生本系列電阻爐帶有超溫報(bào)警功能,當(dāng)設(shè)定溫度超過(guò)設(shè)定報(bào)警溫度時(shí),報(bào)警器開(kāi)始報(bào)警通知使用者于此同時(shí)切斷主回路電源,使其停止加熱,當(dāng)溫度回到設(shè)定報(bào)警溫度以下時(shí),報(bào)警開(kāi)始解除,報(bào)警器停止報(bào)警,主回路電源接通,電爐開(kāi)始工作。
斷偶情況下報(bào)警器也起作用。
二、產(chǎn)品名稱、型號(hào)、技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品名稱:化學(xué)氣相沉積爐
型 號(hào):SKL16-Φ90×400-JBL
技術(shù)參數(shù):
電源電壓: 380V 電源相數(shù): 2相
電源頻率: 50HZ 額定功率: 12KVA
額定溫度: 1600℃ 空爐升溫時(shí)間: ≤120min
爐溫穩(wěn)定度: ≤±1℃ 加熱區(qū)尺寸: Φ80×400mm
工作區(qū)尺寸:Φ80×120
使用單位;北京化工大學(xué)常州分院
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